核心業(yè)務(wù)
Core Business
推薦產(chǎn)品
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Products
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發(fā)布時(shí)間:
2025
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產(chǎn)品名稱(chēng)ON-S200 磁控濺射薄膜沉積設(shè)備產(chǎn)品特性· 工藝腔室(PM)極限真空 ≤1.0×10-7 Pa· 工藝腔室(PM)漏率 ≤1×10-10Pa?m3/s· 裝卸腔室(LoadLock)極限真空 ≤1.0×10-5Pa· 裝卸腔室(LoadLock)漏率 ≤1×10-8 Pa?m3/s· 裝卸腔室 一次可以存儲(chǔ)多個(gè)基片(6-25片), 自動(dòng)基片傳輸· 基板加熱/冷卻 加熱(≥900°C)/冷卻(液氮/水)·...